檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "林榮慶".cadvisor (精準) and ckeyword.raw="原子力顯微鏡" and year="101"
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本文創新提出假設不同軸向比下壓能的值約為相同之定值的概念,依據不同軸向的比下壓能理論模式,以及已知奈米級加工深度及刀具形狀,推導出估算奈米級加工單晶矽工件V型溝槽的下壓力及切削力的理論公式。本文先進…